Požár v ASML může ohrozit dodávky EUV strojů
9.1.2022, Jan Vítek, aktualita
![Požár v ASML může ohrozit dodávky EUV strojů](navstevnost-a-redakce/1/img/website-800.jpg)
Nizozemská společnost ASML je dobře známý jediný výrobce EUV litografických strojů, čili výpadek její výroby by mohl mít dalekosáhlé následky. Nyní přitom firma řeší požár ve své berlínské továrně na optické komponenty.
Na litografické stroje využívající EUV záření spoléhají všechny firmy, které se posunuly, nebo se teprve chystají jít za 7nm proces, respektive 7 nm lze brát jako bod zlomu, po němž už bude EUV v podstatě nutnost k tomu, aby výroba mohla rozumně probíhat. ASML je přitom jediná společnost na světě, která zvládla vývoj EUV litografických strojů, kde jde především o úskalí spojená s tvorbou EUV záření a jeho zaostření na wafer přes litografickou masku.
Co se tedy přihodilo? Dříve v tomto týdnu postihl berlínskou továrnu ASML, kde se tvoří optické komponenty pro EUV litografické skenery a firma ještě v pátek neměla vyhodnoceno to, jaký může být dopad na jejich výrobu. Jde přitom o požár, který zasáhl asi 200 čtverečných metrů výrobní plochy a samotnou továrnu neměl příliš poškodit, ostatně ta celá má plochu kolem 32 tisíc metrů čtverečných. Otázka je, jak je tomu v případě instalované výbavy a především plánovaných dodávek.
![](pozar-v-asml-muze-ohrozit-dodavky-euv-stroju/56800/img/8NPZWfb6kiGvxJkaKLtiX9-970-80.jpg.webp)
V případě EUV strojů ASML se přitom počítá v podstatě každý vyrobený kus, neboť firma má roční kapacitu jen v řádu desítek a letos chce konkrétně dodat na trh celkem 55 skenerů Twinscan NXE:3600D. Moderní továrna na výrobu paměťových čipů DRAM přitom potřebuje zhruba 2 až 9 takových zařízení a v případě výroby logických čipů to může být 9 až 18.
Firma přitom hlásila, že výroba jejích zařízení pro měření a kontrolu waferů nebyla ovlivněna vůbec, v případě klasických DUV strojů už byla krátce po požáru obnovena, takže tato událost ovlivnila skutečně především výrobu EUV strojů a ASML nyní zkoumá své možnosti, jak minimalizovat dopady s ohledem na zákazníky, což se týká výroby nových strojů i údržby těch již instalovaných.
Více se dozvíme pravděpodobně až 19. ledna, kdy ASML zveřejní své finanční výsledky za poslední kvartál roku 2021, čili i za celý rok. Právě na ten den byly slíbeny další infromace.