TSMC: držíme 60 procent světové EUVL kapacity
28.8.2020, Jan Vítek, aktualita

Společnost TSMC nedávno zveřejnila mnohé zajímavé informace, které jsme pokryli v řadě článků, ovšem dosud jsme se více nevěnovali jednomu tématu, a tím je extrémní ultrafialová litografie, čili EUVL.
Tchaj-wanská TSMC je jasnou světově vedoucí firmou v oboru zakázkové výroby čipů a nyní se chlubí i svými možnostmi ohledně výroby pomocí extrémní ultrafialové litografie - EUVL. Ta nastoupila už v pokročilejší verzí 7nm procesu a ve větší míře začala být využívána v 5nm procesu, což už přineslo své ovoce. Už dříve se totiž o EUVL mluvilo jako o technologii, která bude moci výrazně usnadnit výrobu zredukováním celkového počtu kroků. Tím se dá i méně prostoru pro tvorbu defektů a právě nástup procesu N5 firmy TSMC na to ukazuje.
Novější procesy, a to platí obecně, budou EUVL využívat ještě intenzivněji, čili tato technologie se bude stále více rozšiřovat, i když dnes platí oproti klasické DUVL i ta nevýhoda v podobě nižší výrobní kapacity EUV strojů. Ta se pohybuje mezi 120 a 175 WPH (wafer za hodinu) a DUV stroje dosahují 275 WPH. Na druhou stranu, jeden krok EUV stroje ale dokáže nahradit čtyři kroky DUV stroje, takže efektivní kapacita výroby je v důsledku vyšší. I tak ale stále existuje snaha o další navýšení kapacity WPH.

Grafy společnosti TSMC přitom udávají, že má ta ve svých továrnách celkem polovinu světové základny instalovaných a provozovaných EUV strojů, v níž je zatím relativně snadné se orientovat, neboť je dosud nabízí pouze jediná firma, a to holandská ASML. Z hlediska světové kapacity s ohledem na wafery to pak pro TSMC dělá dokonce cca 60 procent.

Společnost ASML chce letos dostat na trh 35 moderních EUV strojů řady Twinscan a v příštím roce jich bude až 50, z nichž jistě podstatná část půjde opět do továren firmy TSMC a další jistě objednává Samsung a Intel, i když ten se chystá s EUVL teprve začít v rámci 7nm procesu. Firmě ASML se ale letos povedlo dostat na trh během první půlky roku jen 13 strojů, a to zvláště kvůli mimořádně slabému prvnímu kvartálu a důvod asi není třeba uvádět.
Do konce tohoto roku by se v továrnách po celém světě mělo nacházet na 90 EUV strojů od ASML, ale nelze očekávat, že zhruba polovina z nich bude patřit firmě TSMC. Ostatně ta mluví o tom, že provozuje polovinu instalovaných strojů v provozu, takže nebere v potaz ty, které ve firmách jako Intel nebo i GlobalFoundries či SMIC čekají na využití. Podrobnosti ale nejsou známy a o Intelu se jen tuší, že už může mít v zásobě až deset EUV strojů.
Jisté je to, že opravdu spokojena může být především společnost ASML, která má zajištěný odbyt na mnoho let dopředu.
Zdroj: Anandtech